薄膜測(cè)厚驗(yàn)證QCM質(zhì)量敏感性的方法研究

石英晶體微量天平(QCM)是測(cè)量氣相薄膜沉積質(zhì)量的精密儀器.QCM質(zhì)量和頻率的相互作用受到眾多不確定因素的影響,因此需要進(jìn)行驗(yàn)證以取得更為精確的結(jié)果.文章從石英晶片的基本理論出發(fā),以薄膜測(cè)厚為基礎(chǔ),研究了氣相沉積石英晶體微量天平差頻變化率和沉積厚度變化率成線性關(guān)系,闡述了線性關(guān)系是驗(yàn)證石英晶體微量天平的關(guān)鍵,并對(duì)測(cè)厚驗(yàn)證質(zhì)量敏感性的可行性進(jìn)行了分析.

作 者： 田東波 于錢 閆少光 涂偉霞   作者單位： 田東波,于錢,閆少光(北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所,北京,100094)

涂偉霞(北京化工大學(xué),化學(xué)工程學(xué)院,分子與材料模擬實(shí)驗(yàn)室,北京,100029) 

刊 名： 航天器環(huán)境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2008 25(5)  分類號(hào)： V417+.9  關(guān)鍵詞： QCM   線性關(guān)系   質(zhì)量敏感性   測(cè)厚  

【薄膜測(cè)厚驗(yàn)證QCM質(zhì)量敏感性的方法研究】相關(guān)文章：

鄂爾多斯盆地巨厚黃土塬區(qū)非縱測(cè)線地震資料處理方法研究04-26

河道型水庫基于敏感性分區(qū)的營養(yǎng)狀態(tài)標(biāo)準(zhǔn)與評(píng)價(jià)方法研究04-25

RF濺射ZnO薄膜工藝與結(jié)構(gòu)研究04-26

自持金剛石厚膜上沉積生長ZnO薄膜及發(fā)光特性04-26

類金剛石薄膜的紫外輻照研究04-27

關(guān)于蠶房墻體覆蓋塑料薄膜的研究04-26

黃土高原積溫變化的敏感性研究04-27

CVD摻硫金剛石薄膜的應(yīng)力研究04-26

不同氧分壓下ZrO2薄膜特性研究04-26

高k柵介質(zhì)薄膜材料研究進(jìn)展04-26