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基于光對準(zhǔn)的多傳感器軸裝配誤差補償技術(shù)
含有多傳感器的微機電系統(tǒng)在組裝傳感器時,一般存在著軸對準(zhǔn)問題,軸的非對準(zhǔn)誤差能導(dǎo)致很大的系統(tǒng)測量誤差.為此提出一種基于光對準(zhǔn)的誤差補償方法,可以在不需要高精度軸對準(zhǔn)的前提下,對裝配后的組件進行后續(xù)誤差檢測和實時補償,有效地消除裝配誤差對測量精度的影響.將該方法實施于微機電方位水平儀,用以測量姿態(tài),通過仿真結(jié)果證實了方法的有效性.
作 者： 朱榮 周兆英 孫雪峰 作者單位： 清華大學(xué),精密儀器與機械學(xué)系,北京,100084 刊 名： 清華大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版) ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY) 年，卷(期)： 2002 42(11) 分類號： V447 關(guān)鍵詞： 微機電系統(tǒng) 多傳感器 軸裝配誤差 光對準(zhǔn) 誤差補償【基于光對準(zhǔn)的多傳感器軸裝配誤差補償技術(shù)】相關(guān)文章：
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