行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對流渦旋的數(shù)值模擬

摘要：針對三重進(jìn)口行星式CVD反應(yīng)器的輸運過程進(jìn)行了二維數(shù)值模擬研究.通過改變反應(yīng)腔幾何尺寸、導(dǎo)流管位置、三重進(jìn)口流量組合、壓強、溫度等條件,研究反應(yīng)器內(nèi)對流渦旋的相應(yīng)變化.根據(jù)模擬結(jié)果,對這類反應(yīng)器中輸運現(xiàn)象與外部參數(shù)的關(guān)系,特別是反應(yīng)腔內(nèi)對流渦旋的產(chǎn)生和發(fā)展作了較全面的分析和討論,給出了抑制對流渦旋、獲得薄膜生長所需的最佳輸運過程的條件. 作者： 左然[1]  張紅[1]  劉祥林[2] Author： ZUO Ran[1]  ZHANG Hong[1]  LIU Xiang-lin[2] 作者單位： 江蘇大學(xué)能源與動力工程學(xué)院,江蘇,鎮(zhèn)江,212013中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,北京,100080 期 刊： 工程熱物理學(xué)報   ISTICEIPKU Journal： JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS 年，卷(期)： 2005, 26(4) 分類號： H8115 Q4725 關(guān)鍵詞： 化學(xué)氣相沉積    輸運過程    熱對流    數(shù)值模擬    機標(biāo)分類號： TQ3 TN3 機標(biāo)關(guān)鍵詞： 行星式    化學(xué)氣相沉積    反應(yīng)器    對流渦旋    輸運過程    反應(yīng)腔    外部參數(shù)    模擬研究    模擬結(jié)果    流量組合    進(jìn)口    幾何尺寸    二維數(shù)值    薄膜生長    相應(yīng)變    導(dǎo)流管    壓強    溫度    位置 基金項目： 國家自然科學(xué)基金，國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)，江蘇大學(xué)校科研和教改項目 行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對流渦旋的數(shù)值模擬[期刊論文]  工程熱物理學(xué)報 --2005, 26(4)左然  張紅  劉祥林針對三重進(jìn)口行星式CVD反應(yīng)器的輸運過程進(jìn)行了二維數(shù)值模擬研究.通過改變反應(yīng)腔幾何尺寸、導(dǎo)流管位置、三重進(jìn)口流量組合、壓強、溫度等條件,研究反應(yīng)器內(nèi)對流渦旋的相應(yīng)變化.根據(jù)模擬結(jié)果,對這類反應(yīng)器中輸運現(xiàn)象與外部參...

【行星式化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)對流渦旋的數(shù)值模擬】相關(guān)文章：

火燒爐內(nèi)氣相燃燒過程的三維數(shù)值模擬04-27

被動式引射器內(nèi)兩相流數(shù)值模擬05-01

山地對流云的數(shù)值模擬04-29

氣升式內(nèi)循環(huán)反應(yīng)器內(nèi)的氣含率與液體循環(huán)04-25

季節(jié)內(nèi)振蕩的數(shù)值模擬Ⅰ.模擬的自然變率04-28

呼和浩特強對流天氣的數(shù)值模擬分析04-28

堇青石基體化學(xué)氣相沉積碳化硅薄膜及其性能表征04-26

渦輪葉片氣膜冷卻的數(shù)值模擬04-29

氣相沉積制備硬質(zhì)薄膜技術(shù)與應(yīng)用述評04-29

塞式噴管流場數(shù)值模擬04-28