超聲噴霧熱解法制備SnS薄膜的物性研究

摘要：用超聲噴霧熱解法制備SnS多晶薄膜,對比了三種不同前驅(qū)液配比濃度對SnS薄膜性能的影響.XRD測試表明,當前驅(qū)液為硫脲(0.5 mol·L-1)+四氯化錫(0.5 mol·L-1)+去離子水時,Sn()2的衍射峰強度比較大；當前驅(qū)液為硫脲(0.6 mol·L-1)+四氯化錫(0.5 mol·L-1)+去離子水時,SnS的衍射峰占主要地位,其中也含有一定量的SnO2；當前驅(qū)液為硫脲(0.7 mol·L-1)+四氯化錫(0.5 mol·L-1)+去離子水時,退火后的薄膜為單一的SnS薄膜,具有斜方晶系結(jié)構(gòu).SEM觀測發(fā)現(xiàn),薄膜均勻、致密,前驅(qū)液中硫脲濃度較大時,顆粒也較大.透過譜測試表明,濃度對薄膜透過率影響較小.結(jié)合器件的暗I-V和C-V測試,用三種前驅(qū)液配比濃度所制備的器件的結(jié)特性差異不大;當前驅(qū)液中硫脲濃度較大時,載流子濃度相對較大. 作者： 唐萍黎兵雷智馮良桓蔡亞平鄭家貴張靜全李衛(wèi)武莉莉曾廣根 Author： TANG Ping  LI Bing  LEI Zhi  FENG Liang-huan  CAI Ya-ping  ZHENG Jia-gui  ZHANG Jing-quan  LI Wei  WU Li-li  ZENG Guang-gen 作者單位： 四川大學材料科學與工程學院,四川成都,610064 期 刊： 光譜學與光譜分析   ISTICEISCIPKU Journal： Spectroscopy and Spectral Analysis 年，卷(期)： 2011, 31(10) 分類號： O433.1 關鍵詞： SnS    薄膜    超聲噴霧熱解法    前驅(qū)液濃度    機標分類號： TB3 O61 機標關鍵詞： 超聲噴霧熱解    法制備    SnS薄膜    物性研究    Spray Pyrolysis    Thin Films    Physical Properties    前驅(qū)液    四氯化錫    去離子水    配比濃度    硫脲    衍射峰    測試    載流子濃度    薄膜透過率    斜方晶系    特性差異    器件    多晶薄膜 基金項目： 國家(863計劃)課題項目，國家自然科學基金，四川省科技廳科技支撐計劃項目

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